主要附件:样品台；样品座；计算机；18.1Inch液晶显示器；三轴马达驱动装置；PC控制接口；冷却循环水装置；降压变压器；自动稳压电源；可抽拉式背散射电子探头；低位二次电子探头；备用发射枪；能谱仪接口；不间断电源；离子溅射仪；冷冻干燥仪。

1、性能指标

(1) 场发射扫描电镜主机 

分辨率：1mm（15KV），2nm（1K） 

放大倍数：25倍~6.5×100000倍 

(2) 电子光学系统 

加速电压：0.5KV~30KV 

探针电流：E－9~E－13Ａ 

电子枪：冷阴极场发射型，SIP－1真空≤5×E+8Pa 

物镜：强激励图锥透镜 

试样台 

(3) 其中心测角台

自动驱动：x－y方向移动范围70mm×50mm R:0－360度

手动：Z:1.5mm~25mm T:－5~+60度。 

(4) X射线能谱仪系统 

INCA能谱仪：Si（Li）探测器，超ATM窗口，10mm2活区， 

分辨率（MnKa）：133eV分析元素：Be4－V92。 

中间过渡室SIP－2真空≤5×E－6Pa。 样品室真空≤5×E－4Pa。

2、样品要求

      样品干燥、无磁性、导电性能良好（导电不良需进行喷镀处理）

3、主要应用

      金属、陶瓷、半导体、矿物、生物、高分子、复合材料和纳米级一维、二维和三维材料的表面形貌观察、纳米材料显微结构、尺寸大小和成分分析、材料微结构及相分布观察