1、性能指标

电镜主机技术参数 

(1) 分辨率 点分辨率：0.23nm；线分辨率：0.14nm 

(2) 加速电压80, 100, 120, 160, 200kV(50V step) 

(3) 加速电压稳定度 :2×10^6/min 

(4) 物镜电流稳定度 :1×10^6/min 

(5) 物镜 焦距：2.3mm；球差系数：1.0mm；色差系数：1.4mm；焦距最小步长：1.5nm 

(6) 束斑尺寸（挡数） TEM 模式：20－200nmφ(5) EDS/NBD/CBD 模式：1.0－25nm φ (8) 

(7) 会聚束电子衍射（CBED） 会聚角(2θ) 1.5－20 mrad 以上 接受角(2θ) ≥10° 

(8) 放大倍数(挡数) LOW MAG 模式：×50－6,000(20) MAG 模式：×2,000－1,500,000(30) SA MAG 模式：×8,000－800,000(21) 

(9) 相机长度(挡数) SA DIFF模式：80－2,000mm(15) 

样品台 

(1) 样品倾斜角度：±35° 

(2) 样品平移(X, Y)：2mm（±1.0mm） 

(3) 样品平移(Z)：0.4mm（±0.2mm）  

数字化CCD相机技术参数 

提供德国EM SIS公司 QUEMESA 数字化相机，底部安装，光纤耦合CCD，

分辨率：1100万像素，CCD像素面积：18um X 18 um，视野面积：72mm X 48mm 采用快速单端口读出，均一性好 

动态范围：≥14位， 16384灰度等级 采用半导体冷却，曝光时间1ms—100s 可调 3．X射线能谱（EDS）分析仪技术参数 提供英国牛津公司能谱仪 X－MAX65T，电制冷能谱探测器：场效应管(FET)内置的高速SDD芯片，探测器有效检测面积≥65mm2，可伸缩性探测器 可处理最大计数率≥200000CPS， 最大输出计数率 > 950,000CPS 

分辨率(Mn K线)：≤127eV(STD)，严格依照ISO15632国际标准测量 

分辨元素范围：B5－U92 智能定性分析及定量分析操作及数据处理模式：配备定性、定量数据处理软件及其它标准的用于EDS分析的必备软件

2、样品要求

1．粉末样品基本要求 

（1）单颗粉末尺寸最好小于1μm； 

（2）无磁性； 

（3）以无机成分为主；

2．块状样品基本要求 

（1）需要电解减薄或离子减薄，获得几十纳米的薄区才能观察； 

（2）如晶粒尺寸小于1μm，也可用破碎等机械方法制成粉末来观察； 

（3）无磁性；

3、主要应用

  透射电子显微镜是研究固态物质显微形貌、晶体结构和测量微小体的尺寸和形状的仪器，广泛应用于高分子材料、纳米材料、金属材料、陶瓷、冶金、生物、医学、地质、半导体、仿生学等各个领域以及工农业生产中。通过透射电子显微镜可以方便的观察到物质的微观结构、晶体的生长规律，检测各种材料的老化及其疲劳损害程度，分析各种材料中各种成分的分布规律及其各种元素间的比例关系。