Sigma500是结合20多年的经验于Gemini技术提供完整、有效的检测，并且具有高分辨率和易用性。清晰的视图检测套件提供所有样本清晰和广度的信息,并且可以完全适合您的应用程序需求。Sigma500优秀的成像质量、灵活性、四步工作流程、探测器简单易用等优势是您最佳的选择。

1、性能指标

1、分辨本领 二次电子像分辨率：0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV（无需减速模式实现） 2、加速电压 调整范围：0.02－30 kV 调整步长：每档10 V连续可调 3、探针电流： 4pA－20nA 稳定性: 优于 0.1%/h 4、放大倍数： 范围: 1－1,000,000× 放大倍数调整：粗、细调模式连续可调 预设定：可从用户菜单中选择设定值 自动补偿：随着工作距离或加速电压的变化，自动精确校正放大倍数。 校准：对于图像输出装置的改变，自动精确校正放大倍数。 电子光学系统 1、电子发射源： Schottky型场发射（热场发射）电子源 2、透镜系统： 电磁/静电式透镜会聚系统 3、聚焦： 工作距离：范围可由1mm至50mm。 控制：具有灵敏度与放大倍数相关的粗调和细调。 自动聚焦控制：粗调、细调。 聚焦补偿：在整个加速电压变化范围内，自动补偿。 动态聚焦：对倾斜样品进行聚焦矫正。 旋转补偿：自动矫正由于工作距离的变化引起的图像旋转。 倾斜补偿：自动矫正由于样品倾斜引起的放大倍数变化。 4、消像散器：八极电磁式系统 5、光栏 数量：七孔光阑.通过自动补偿套件可达到精准合轴 调整：电磁选择和软件调整 光阑尺寸：7 μm, 10 μm, 15 μm, 20 μm, 30 μm, 60 μm, 120 μm 6、扫描 扫描速率：17档扫描速度可选 扫描方式：全帧、选区、定点、线扫描、扫描旋转、倾斜补偿 7、电子束位移 平移宽度：±100μm

2、样品要求

材料样品干燥、无挥发、无磁性、导电性能良好（导电不良需进行喷镀处理）。

3、主要应用

场发射扫描电镜、能谱仪、电子束感生电流可广泛用于材料表面形貌观测、截面样品断面分析，化学元素含量定性和半定量分析，半导体导电性能分析。应用于金属、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析。